[发明专利]一种液态ALD前驱体的精制方法有效
| 申请号： | 202111117166.8 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113842658B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 周健 | 申请（专利权）人： | 苏州源展材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D3/14 | 分类号： | B01D3/14;B01D1/30;B01D53/02 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 吴竹慧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态ALD前驱体的精制方法，包括以下步骤：对液态ALD前驱体的低纯度粗品进行精馏；对纯化材料聚乙烯多孔颗粒进行预处理，将预处理后的纯化材料填满纯化塔；将精馏后的组分流入填满纯化材料的纯化塔中，在沸点温度下进行纯化处理，得到高纯产品。上述精制方法操作简单，且应用范围广，可对多种ALD前躯体进行精制处理，此外，聚乙烯多孔纯化颗粒为高分子材料不会释放金属离子污染原料且可以锁住杂质离子，经过其纯化的ALD前驱体化合物的纯度高达99.9999％，满足作为ALD前驱体材料的纯度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 ald 前驱 精制 方法 | ||
【主权项】：
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