[发明专利]弯曲晶圆的清洗液及清洗方法有效
| 申请号： | 202111117828.1 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113845917B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 葛威威;韩鹏帅;申朋举;葛永恒;葛林四 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海十蕙一兰知识产权代理有限公司 31331 | 代理人： | 刘秋兰 |
| 地址： | 201405*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆的清洗液及清洗方法。其中方法包括将晶圆经上料区上料；将晶圆从上料区置于第一清洗槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面进行刻蚀清洗；将晶圆置于第一溢流槽内进行第一次清洗；将晶圆置于第二清洗槽内，晶圆浸入混合液中，对晶圆的背面再次进行刻蚀清洗；将晶圆置于第二溢流槽内进行第二次清洗；将晶圆置于氢氟酸槽，晶圆浸入氢氟酸液中去除表面的自然氧化膜；将晶圆置于第三溢流槽内进行第三次清洗；将晶圆经下料区下料，完成晶圆的清洗。本发明极其适用于翘曲或弯曲的晶圆的清洗，既能加快刻蚀速度，又具有成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 弯曲 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海提牛机电设备有限公司，未经上海提牛机电设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111117828.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种扒鸡煮锅
- 下一篇：一种扒鸡自动理料线系统
