[发明专利]一种光罩清洗装置及其清洗方法有效
| 申请号： | 202111124378.9 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN114011791B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 金龙 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B1/00;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，涉及光罩清洗技术领域。本发明的一种光罩清洗装置，包括机体，设置于机体内的置物台、药液浸泡槽和刷洗槽，于所述药液浸泡槽的上方固定安装有第一抓取模块，所述刷洗槽的上方固定安装有第二抓取模块，于所述药液浸泡槽对应的位置安装有第一刷洗组件，所述刷洗槽对应的位置固定安装有第二刷洗组件。本发明公开了一种光罩清洗装置及其清洗方法，采用多槽自动清洗模式，能够对光罩进行多次清洗，清洗效果更好，且减少了人工操作的步骤，节省了大量人力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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