[发明专利]涂层及其制备方法和器具在审
| 申请号： | 202111125569.7 | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113913747A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;郑礼伟;陈松;杨恺 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 向薇 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种涂层及其制备方法和器具，包括用于与基底接触的第一涂层以及层叠在第一涂层之上的第二涂层，其中，第一涂层的组分以原子数量百分比含量计包括47％～53％的Cr以及47％～53％的N；第二涂层的组分以原子数量百分比含量计包括25％～40％的Cr、4％～15％的Si、1％～10％的Ni以及45％～55％的N，涂层中作为主要支撑的第二涂层，非晶α‑Si |
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| 搜索关键词： | 涂层 及其 制备 方法 器具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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