[发明专利]半导体装置及半导体装置的制造方法在审
申请号: | 202111134161.6 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN114429940A | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 荫山聡 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 奚勇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本揭示的课题涉及一种半导体装置及半导体装置的制造方法。本揭示的目的在于简化半导体装置的制造步骤。本揭示的半导体装置具备:有机膜40,形成着在z方向贯通的贯通孔43且具有电绝缘性;导电层31,形成在有机膜40上,包含不含Ti的Cu系合金;Cu布线层32,形成在导电层31上;半导体元件20,安装在Cu布线层32上;密封树脂50,将半导体元件20密封;及外装端子60,连接到导电层31。导电层31具有从有机膜40的贯通孔43露出的露出导电部31a。外装端子60与露出导电部31a相接。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 制造 方法 | ||
【主权项】:
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