[发明专利]一种基于TSV的三维堆叠型交叉耦合腔体滤波器在审
| 申请号： | 202111135048.X | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113839162A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;彭权;余宁梅;杨媛;朱樟明;尹湘坤 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01P1/208 | 分类号： | H01P1/208 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王丹 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于TSV的三维堆叠型交叉耦合腔体滤波器，包括从上至下依次平行设置的顶层RDL、中间层RDL及底层RDL，顶层RDL与中间层RDL之间设有硅衬底I，中间层RDL与底层RDL之间设有硅衬底II，硅衬底I与硅衬底II内分别分布有两个由TSV构成的谐振腔；顶层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口。本发明中的馈线采用微带线和共面波导相结合的方式，利用谐振腔之间的交叉耦合，产生带外传输零点，加快了滤波器带外传输系数降低的速度，从而提高了滤波器的选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 tsv 三维 堆叠 交叉 耦合 滤波器 | ||
【主权项】：
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