[发明专利]一种超精密高质量抛光金刚石晶圆的方法有效
| 申请号： | 202111138013.1 | 申请日： | 2021-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN113798991B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 胡光球;陆静;王凯平 | 申请（专利权）人： | 苏州赛尔特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B49/00;B24B49/16;B24B7/22;C09G1/02;F26B5/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙周强 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超精密高质量抛光金刚石晶圆的方法，将自修整冻干抛光轮装在抛光机上，然后对金刚石晶圆进行抛光加工，完成抛光，得到表面粗糙度为pm级的金刚石晶圆，本发明首次由凝胶抛光体经过真空干燥与冷冻干燥制备冻干抛光块，再与基体复合得到自修整冻干抛光轮。本发明首次公开的冷冻干燥凝胶体制备抛光轮针对金刚石晶圆具有优异的抛光效果，达到pm级的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 质量 抛光 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
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