[发明专利]石墨烯氧化钒红外探测器、制备方法及其应用

摘要

本发明公开了石墨烯氧化钒红外探测器、制备方法及其应用，其中探测器包括响应部，包括基体，形成于基体上的电极，电极在基体表面形成有空缺部分，形成于电极上的石墨烯层，石墨烯层、电极以及基体限定所述空缺部分为腔结构，形成于石墨烯层上的Parylene薄膜层，形成于Parylene薄膜层上的氧化钒层，氧化钒层至少部分与电极电连接。本发明的探测器，制备工艺较为简单，而且石墨烯悬臂梁结构能够充分发挥石墨烯优秀的力学性能，也有助于充分发挥氧化钒红外探测器的性能，提高探测灵敏度。