[发明专利]一种硫化锑光电晶体管及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111140053.X 申请日: 2021-09-28
公开(公告)号: CN114156363A 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 邓辉;贾义;赖云锋;程树英 申请(专利权)人: 福州大学;闽都创新实验室
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/109;C23C14/04;C23C14/06;C23C14/24;C23C18/12;C23C28/00
代理公司: 福州元创专利商标代理有限公司 35100 代理人: 张灯灿;蔡学俊
地址: 350108 福建省福州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种硫化锑光电晶体管及其制备方法,所述光电晶体管自下而上依次包括衬底、吸光PN结和表面金属电极,所述衬底包括重掺杂Si栅极和设于其上的SiO2层,所述吸光PN结包括N型TiO2层和设于其上的P型Sb2S3吸光层,所述表面金属电极为源、漏金属电极。该光电晶体管有利于利用栅极电压调控光、电信号,而且结构简单,制造成本低。
搜索关键词: 一种 硫化锑 光电晶体管 及其 制备 方法
【主权项】:
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