[发明专利]磁栅精度校准检测装置及其检测方法在审
申请号: | 202111141152.X | 申请日: | 2021-09-28 |
公开(公告)号: | CN113739687A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 曹彬;温琚玲 | 申请(专利权)人: | 长光(沧州)光栅传感技术有限公司 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人: | 王婷婷 |
地址: | 061000 河北省沧州市运河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种磁栅精度校准检测装置及其检测方法,属于直线计量元件精度检测设备技术领域,本发明设置有基座,其上部布设有气浮导轨;气浮滑块与所述气浮导轨滑动连接;所述基座上形成有与所述气浮导轨平行的用于容纳待检磁栅带的导向槽,所述气浮滑块装设有磁栅读数头;以及两个光栅带,其装设在所述基座上并对称地分布在所述导向槽两侧,所述光栅带、的光栅读数头、设置于所述气浮滑块上,从而驱动所述气浮滑块使两个所述光栅带、形成第一基准轴线和第二基准轴线双基准校准所述待检磁栅带,本发明实现了在对磁栅尺进行精度检测时,使用双基准来消除阿贝误差,具有提高检测精度的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 精度 校准 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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