[发明专利]一种用于MEMS法珀腔芯片的标定装置及其标定方法在审
| 申请号： | 202111146063.4 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113884199A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 黄锦标;郭斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新安街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于MEMS法珀腔芯片的标定装置，包括窄波段光发射模块，所述窄波段光发射模块的控制端电性连接至处理终端，所述窄波段光发射模块的出射端连接有聚焦模块，所述聚焦模块的出射端设置有准直器，所述准直器的出射端设置有成像传感器，所述成像传感器均电性连接至所述处理终端，在所述准直器与所述成像传感器之间设置有用于放置所述MEMS法珀腔芯片的空间。本发明通过窄波段光发射模块提供不同中心波长的窄波段光，聚焦模块对窄波段光进行聚焦，准直器对窄波段光进行准直并入射到MEMS法珀腔芯片上产生干涉，成像传感器采集干涉图像，处理终端对干涉图像进行读取解析，从而自动对MEMS法珀腔芯片的波长进行标定，大大提高了波长标定效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 法珀腔 芯片 标定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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