[发明专利]用于外延沉积的反应器及其加热方法在审
| 申请号： | 202111146174.5 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN113943974A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 温森佐·奥格里阿里;西尔维奥·佩雷蒂;弗兰科·佩雷蒂 | 申请（专利权）人： | 洛佩诗公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 汤慧华;杨明钊 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于外延沉积的反应器(1)及其加热方法。反应器(1)包括承受器(2)和感应器(4)；感应器(4)适于在其被通电时通过电磁感应加热承受器(2)；感应器(4)包括多个匝(41‑47)；在承受器(2)从第一温度加热到第二温度期间，感应器(4)的一匝或更多匝(43)相对于承受器(2)和感应器(4)的其他匝的位置改变。匝(43)借助于适当的致动系统(61，62，63)来致动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 外延 沉积 反应器 及其 加热 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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