[发明专利]一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法有效
| 申请号： | 202111146699.9 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113981384B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 赵静宜;赵玉清 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种减小电容器和电池金属箔切刀切削误差的方法，将金属箔切刀超声波清洗去除油脂，然后脱水和烘干后放入真空室；开启冷阴极气体离子源，冷阴极气体离子源输入氩气，利用引出的氩离子对真空室中金属箔切刀表面进行离子束抛光处理；关掉冷阴极气体离子源，开启电弧离子源，电弧离子源的阴极靶和阳极筒均为石墨，在石墨阴极靶面上产生电弧放电，进而产生碳等离子体；通过一个引出电极，将碳等离子体中的碳离子引出，进入一个过滤磁场，通过过滤磁场的筛选，再通过一个磁透镜聚焦，形成纯碳离子束流，再通过磁扫描偏转场，将纯碳离子束沉积在金属箔切刀上，形成均匀的非晶四面体碳薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减小 电容器 电池 金属 箔切刀 切削 误差 方法 | ||
【主权项】：
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