[发明专利]一种太阳能电池的制造方法及其制造装置有效
| 申请号： | 202111148814.6 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113903830B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 雷仲礼 | 申请（专利权）人： | 德鸿半导体设备（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L21/203;H01L21/205 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳能电池的制造装置、方法及太阳能电池组件，该太阳能电池的制造装置包括：运输腔，所述运输腔内设有纵向形状的传输轨道，所述纵向形状的传输轨道具有位于所述传输轨道两侧的第一侧和第二侧；可移动框架并且具有框架开口；薄膜粘附到可移动框架并且具有多个薄膜开口，框架开口暴露多个薄膜开口，每个薄膜开口暴露附接至薄膜的对应基片，该方法减少太阳能电池制造装置的占地面积，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 制造 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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