[发明专利]主动元件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202111150973.X 申请日: 2021-09-29
公开(公告)号: CN113903797B 公开(公告)日: 2023-06-16
发明(设计)人: 范扬顺;黄震铄 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L29/423 分类号: H01L29/423;H01L27/12;H01L21/84;H01L21/28;H01L21/44
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种主动元件及其制造方法。主动元件包括基板、切换底栅极、驱动底栅极、第一栅绝缘层、切换通道、驱动通道、第二栅绝缘层、切换顶栅极与驱动顶栅极。切换底栅极与驱动底栅极配置于基板上。第一栅绝缘层配置于基板上且覆盖切换底栅极与驱动底栅极。切换通道与驱动通道配置于第一栅绝缘层上。驱动通道具有一低电位端。低电位端电性连接驱动底栅极。第二栅绝缘层配置于第一栅绝缘层上且覆盖切换通道与驱动通道。第二栅绝缘层的厚度大于第一栅绝缘层的厚度。切换顶栅极与驱动顶栅极配置于第二栅绝缘层上。切换顶栅极电性连接切换底栅极。
搜索关键词: 主动 元件 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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