[发明专利]一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法在审
| 申请号： | 202111151911.0 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113930839A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨海燕;刘铭;郝斐;赵硕;吴卿 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06;C30B19/10 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 华枫 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于液相外延的石墨舟及其使用方法。用于液相外延的石墨舟包括：依次层叠设置的底托、衬底槽、母液槽和上盖。其中，衬底槽中设有用于放置石墨垫块和衬底的第一通孔，石墨垫块在第一通孔内的高度可调节。衬底槽设有多个水平刻度线，用于指示所述石墨垫块的高度和水平度。本发明通过直接调整石墨垫块的高度和水平度，更高效地实现石墨垫块高度根据衬底高度和薄膜厚度进行连续精确变化，形成标准工艺，保证薄膜不被划伤和母液残留，降低了外延工艺配备多个垫块的加工成本，并且操作简单，结合水平线指示也使精度更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 石墨 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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