[发明专利]一种在基底上形成图案化金属膜的方法和系统在审
| 申请号： | 202111152081.3 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN113930707A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | N·扎莫什奇克 | 申请（专利权）人： | 奥雷尔科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/134 | 分类号： | C23C4/134;C23C4/02;C23C4/06;H05H1/26 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄琳娟 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种在基底上形成薄的图案化金属膜的方法和系统。所述方法包括将油墨组合物涂覆在预处理后的基底的表面上，其中所述油墨组合物至少包含金属阳离子；以及至少将涂覆在所述基底上的油墨组合物暴露于低能量等离子体中，其中根据第一组暴露参数操控所述低能量等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 形成 图案 金属膜 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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