[发明专利]一种快速磨抛金刚石晶圆的方法在审
| 申请号： | 202111154153.8 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113829133A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 胡光球;陆静;王凯平 | 申请（专利权）人： | 苏州赛尔特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/22;B24D3/02;B24D3/34;B24D18/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙周强 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市苏州工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速磨抛金刚石晶圆的方法。具体的，在磨抛机上，利用自修整冻干凝胶砂轮磨抛金刚石晶圆，完成金刚石晶圆的快速磨抛；本发明将凝胶体依次经过真空干燥、冷冻干燥，得到自修整凝胶砂轮用冻干凝胶块；再与基体结合，得到自修整冻干凝胶砂轮。本发明首次以冻干凝胶块为磨抛工具，较现有研磨金刚石晶圆的方法，取得粗糙度低、良品率高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 金刚石 方法 | ||
【主权项】：
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