[发明专利]改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工方法和系统有效
| 申请号： | 202111155414.8 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113815138B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 倚娜;令狐嵘凯;张雯;路颖 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;H01L21/02;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种改善氮掺杂晶圆翘曲度的加工方法和系统；该方法可以包括：基于氮含量分布将所述待切割的氮掺杂晶棒划分为多个待加工晶棒段；其中，每个待加工晶棒段均对应于一氮含量区间；根据氮含量区间与加工条件之间的对应关系确定每个待加工晶棒段各自对应的加工条件；其中，所述加工条件使得能够避免对应的待加工晶棒段经由线切割而发生翘曲现象；利用各所述待加工晶棒段对应的加工条件分别对各所述待加工晶棒段进行切割加工，获得由所述待切割的氮掺杂晶棒切割得到的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 掺杂 晶圆翘 曲度 加工 方法 系统 | ||
【主权项】：
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