[发明专利]一种用于铌隧道结制备的微加工系统在审
| 申请号： | 202111155433.0 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113820928A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陈士县;张朋 | 申请（专利权）人： | 阜阳师范大学 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 安徽善安知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34200 | 代理人： | 陈庭 |
| 地址： | 23600*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于铌隧道结制备的微加工系统，包括底座、升降机构、散热机构、震动机构和衬底固定机构，所述底座上端外侧设有外筒体，所述外筒体内部固定连接有内筒体，所述内筒体上侧设有密封盖，所述密封盖上端中部设有导向筒，所述导向筒前侧设有温度传感器和氧传感器，且温度传感器和氧传感器对称安装在密封盖的上端，所述底座的上端中部安装有电加热丝。本发明通过设有的温度传感器、氧传感器、辅助气体储存罐和衬底固定机构，根据辅助气体储存罐存储气体的不同提供两种加工流程，可以减少衬底样品表面离子反应中Al |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 隧道 制备 加工 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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