[发明专利]一种MEMS红外光源及其制备方法在审
| 申请号： | 202111156777.3 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113979402A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;树东生 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;H05B3/00 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS红外光源及其制备方法，从下到上依次包括衬底、支撑薄膜、加热层和辐射层，所述加热层表面通过刻蚀形成加热电阻结构，所述辐射层位于加热电阻结构上方，所述衬底上开设上下贯穿所述衬底的空腔，所述空腔的横截面积大于所述辐射层的面积，所述支撑薄膜位于所述空腔上方边缘的位置处为波纹膜结构。本发明所公开的MEMS红外光源利用波纹膜结构将应力转换为水平方向的位移，从而释放红外光源工作时产生的热应力，避免在辐射层的局部高温下，支撑薄膜的中心发生很大的纵向位移；进而解决了红外光源在工作时，热应力导致的支撑薄膜破裂问题，提高了红外光源的稳定性，有利于延长红外光源的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 红外 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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