[发明专利]一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱及裂解工艺

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产副产氯硅烷高沸物的裂解反应柱，属于多晶硅生产技术领域，裂解反应柱下端设有液相入口和氯化氢入口，裂解反应柱上端设有液相出口，所述裂解反应柱内设置有盘管，盘管用于通入恒温物料，裂解反应柱内与盘管间填充有聚氯硅烷裂解树脂，裂解反应柱内盘管的上端、下端均设有带孔的隔离网，所述裂解反应柱内上部留有缓冲空间，同时公开了使用该裂解反应柱的裂解工艺，可以解决现有技术中采用树脂催化剂的反应柱对多晶硅生产中的副产氯硅烷高沸物进行裂解反应时，由于反应温度等条件较难控制，导致反应效果出现较大的波动，产物不稳定的问题。