[发明专利]电子装置的制造方法在审
| 申请号： | 202111157230.5 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114384768A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 王程麒;陈永一;郑承恩 | 申请（专利权）人： | 群创光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子装置的制造方法，包括设定一基本工作面积；提供一承载平台，其中承载平台具有多个真空吸盘；将基板设置在承载平台上；以多个真空吸盘中的一部分对基板的一部分进行真空吸引，其中基板中受真空吸引的该部分定义为一吸引区域；以及对该吸引区域的一部分进行曝光。其中，吸引区域的面积大于基本工作面积且小于承载平台的面积。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
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