[发明专利]一种磷化铟晶体生长除杂装置在审

专利信息
申请号: 202111162246.5 申请日: 2021-09-30
公开(公告)号: CN115896956A 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 关淑文 申请(专利权)人: 台山市华兴光电科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/40;B08B9/087
代理公司: 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 代理人: 吴静芝
地址: 529200 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于磷化铟晶体领域,具体的说是一种磷化铟晶体生长除杂装置,包括处理箱体和进料口;所述处理箱体内部固接连通有进料口;所述处理箱体内部设置有除杂单元,且除杂单元包括搅拌组价、清理组件、下料板、收集组件、侧板、密封组件和固定组件,所述搅拌组件转动连接在处理箱体内壁,所述清理组件固接在搅拌组件外壁,所述下料板固接在处理箱体内壁;通过搅拌组件,对磷化铟晶体表面的杂质进行去除,通过收集组件,对清理后的磷化铟晶体进行收集,通过固定组件,便于操作人员取出过滤箱,实现了除杂的功能,解决了现有的磷化铟晶体生长除杂装置不能够较好的令磷化铟晶体与其他杂质分开的问题,提高了处理箱体的除杂效率。
搜索关键词: 一种 磷化 晶体生长 装置
【主权项】:
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