[发明专利]一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法有效
| 申请号： | 202111164563.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN113996819B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23B5/00 | 分类号： | B23B5/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法，通过对焊接完成的圆形钼靶材组件的溅射面依次进行粗车削和精车削，减小了圆形钼靶材与背板发生相对转动的推动力，有效降低了圆形钼靶材的脱焊面积，避免了焊缝增大以及靶材开裂等问题的发生；而且，本发明所述加工方法通过依次进行的粗车削和精车削，可以保证圆形钼靶材组件的溅射弧面满足尺寸的质量要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 钼靶材 组件 溅射 加工 方法 | ||
【主权项】：
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