[发明专利]零部件、等离子体装置、形成耐腐蚀涂层的方法及其装置有效
| 申请号： | 202111169430.2 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113611589B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 段蛟;郭盛;杨桂林 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/02;C23C16/02 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种零部件、等离子体装置、形成耐腐蚀涂层的方法及其装置，所述耐腐蚀涂层包括：零部件本体，其包括待镀面，所述待镀面在任意水平距离为100微米范围内局域高度偏差小于等于20微米或者平均粗糙度小于1微米；耐腐蚀涂层，位于所述待镀面上，所述耐腐蚀涂层表面在任意水平距离为50微米范围内局域高度偏差小于等于10微米，所述耐腐蚀涂层表面形貌致密，无生长边界。本发明所述耐腐蚀涂层耐等离子体腐蚀的能力较强，不易开裂，不易形成颗粒污染。 | ||
| 搜索关键词： | 零部件 等离子体 装置 形成 腐蚀 涂层 方法 及其 | ||
【主权项】：
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