[发明专利]一种双脉冲LIBS步移平台测量方法在审
申请号: | 202111170981.0 | 申请日: | 2021-10-08 |
公开(公告)号: | CN113848200A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 赵培茜;徐智博;刘林林;方仕立;周睿;吴瑶;吴桓 | 申请(专利权)人: | 重庆建安仪器有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 刘桢 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明公开了一种双脉冲LIBS步移平台测量方法,通过多个分光镜将入射脉冲光分为两束,一束直接到靶材表面,另一束通过步进电机控制的位移平台架设两束全反射镜拉开光程差进行相位区分,提高光谱分辨率。 | ||
搜索关键词: | 一种 脉冲 libs 平台 测量方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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