[发明专利]基板工艺系统在审
| 申请号： | 202111171332.2 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114290126A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 蔡熙成;李承恩;尹勤植 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;H01L21/67;H01L21/677;B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据一个实施例的基板工艺系统可以包括：前端模块；第一工艺线，其包括第一研磨线及第一清洗线；第二工艺线，其包括第二研磨线及第二清洗线，和第一工艺线并列配置；第一工作台，其位于第一清洗线及第二清洗线之间；第一搬运机器人，其将基板从前端模块移送至第一工作台；第二工作台，其位于第一研磨线及第二研磨线之间；第二搬运机器人，其在第一清洗线、第二清洗线、第一工作台及第二工作台中至少任意两个位置之间对基板进行移送。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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