[发明专利]用于移除和/或避免带电粒子束系统中污染的方法和系统在审
| 申请号： | 202111172533.4 | 申请日： | 2017-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN113871279A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | M·斯米茨;J·J·科宁;C·F·J·洛德韦克;H·W·穆克;L·阿塔尔德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/26;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种带电粒子束系统，其包括：带电粒子束发生器，其用于产生带电粒子的射束；带电粒子光学列，其布置在真空腔中，带电粒子光学列被布置成将带电粒子的射束投射到目标上，带电粒子光学列包括影响带电粒子的射束的带电粒子光学元件；提供清洁剂的源；导管，其连接到源并且布置成将清洁剂朝向带电粒子光学元件引入；其中带电粒子光学元件包括：带电粒子传输孔，其用于传输和/或影响带电粒子的射束；以及至少一个通气孔，其在带电粒子光学元件的第一侧和第二侧之间提供流动路径；其中通气孔的横截面大于带电粒子传输孔的横截面。此外，公开了一种用于防止或移除带电粒子传输孔中污染的方法，其包括在射束发生器运行时引入清洁剂的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 避免 带电 粒子束 系统 污染 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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