[发明专利]一种可重构加速度传感器有效
| 申请号： | 202111173680.3 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN113917187B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 颜红彦;吕忠全;勾建伟 | 申请（专利权）人： | 南京林业大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210037 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种可重构的加速度传感器，包括：衬底；折纸结构梁，设置在衬底上，所述折纸结构梁包括第一折叠薄膜结构、第二折叠薄膜结构、第三折叠薄膜结构、第四折叠薄膜结构，所述折纸结构梁通过第一V形梁、第二V形梁固定连接于所述衬底；悬浮电极设置于所述衬底与所述折纸结构梁之间，所述悬浮电极的两端分别与第一弹簧结构和第二弹簧结构连接；第一弹簧结构和第二弹簧结构分别通过第三V形梁、第四V形梁固定连接于所述衬底；其中，所述折纸结构梁的延伸方向与所述第一弹簧结构、第二弹簧结构的延伸方向相互交叉。本发明通过控制V形梁使加速度传感器的灵敏度和测量范围具有可重构性，提高了加速度传感器的灵敏度、检测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可重构 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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