[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器有效
申请号: | 202111175347.6 | 申请日: | 2021-10-09 |
公开(公告)号: | CN113904653B | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 赵坤丽;刘炎;罗天成;孙博文;孙成亮 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/54 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器,涉及滤波器技术领域,包括:衬底,在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极,上电极在衬底的正投影的轮廓由四条曲线首尾相接而成,相邻两条曲线的连接处设置有弧形过渡,间隔设置的两条曲线不平行。如此,能够有效提高器件的可靠性,同时,还能够有效抑制寄生谐振幅值,提高Q值,从而提高器件性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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