[发明专利]一种电子束发射装置在审
| 申请号： | 202111175373.9 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113990722A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 姚南 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J3/02 | 分类号： | H01J3/02;C23C14/30 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 汪利胜 |
| 地址： | 310051 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束发射装置，旨在解决坩埚组件和电子束发射组件集成在一起，位置无法调整，使用不便的不足。该发明包括安装座、灯丝组件、磁场组件，灯丝组件包括灯丝、夹持座、整形罩，灯丝装夹在夹持座上部，整形罩套装在夹持座上部，灯丝置于整形罩内，灯丝两端通高压电，整形罩上端设有发射口；整形罩上安装电极罩，电极罩上端开口，电极罩下端设有和发射口对应的对接口；安装座上连接梭心，电极罩套装在梭心上，梭心内设有冷却流道；磁场组件包括电磁铁、分别安装在电磁铁两端的左磁轭和右磁轭，左磁轭和右磁轭上分别连接左极靴和右极靴，电极罩置于左极靴和右极靴的端部之间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 发射 装置 | ||
【主权项】：
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