[发明专利]一种用于金刚石生长的沉积装置有效
| 申请号： | 202111175843.1 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113832540B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 魏浩胤;蒋琛 | 申请（专利权）人： | 航天科工（长沙）新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B25/20;C30B29/04;C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 黄利萍 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙高新开发区文轩路*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于金刚石生长的沉积装置，包括：支撑台、升降台和钼托，支撑台的中间形成有中空部；钼托包括基体和设置在基体中间的屏蔽部，基体设置在支撑台上，屏蔽部上形成有多个间隔设置的屏蔽孔；升降台可升降地设置在中空部中，升降台的上方形成有多个与屏蔽孔相适配的支撑柱，支撑柱的顶部用于放置金刚石籽晶；其中，在金刚石的生长过程中，通过调节升降台的高度，使得金刚石的上表面和钼托的相对位置保持不变，并且每个支撑柱保持插入在对应的屏蔽孔中的状态。本发明既能避免升降台调节对腔体内电场分布、各类粒子分布、温度等参数造成影响，还能很好地防止金刚石籽晶的漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 金刚石 生长 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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