[发明专利]一种乙硅烷残气瓶处理装置在审
| 申请号： | 202111176231.4 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113970064A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 杨金龙;魏入铎;刘广登;邹来飞;谢家道 | 申请（专利权）人： | 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C7/04;F17C13/00;F17D1/065;F17D3/01 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 239000 安徽省滁州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种乙硅烷残气瓶处理装置，包括钢瓶，钢瓶上连接有主管路，钢瓶外侧设置有加热带，主管路外端连接有真空泵，主管路左侧连接有左支路，左支路外端分别连接换气罐，主管路右侧连接有右支路，右支路外端为排放口。本发明通过在钢瓶外侧设有加热带进行加热，将瓶内的液相气体快速转变为气相，便于置换处理，减少置换气的加入次数，降低能耗，缩短处理时间，结构简单，使用便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 残气瓶 处理 装置 | ||
【主权项】：
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