[发明专利]一种真空镀膜机的旋转载片装置在审
| 申请号： | 202111184455.X | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN113943931A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 黄鹏飞;杨涛 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/30;C23C14/14 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机的旋转载片装置，包括上腔体和自转架，自转架上设置有固定槽，上腔体上设置有旋转动力装置，所述固定槽包括内圈固定槽和外圈固定槽，自转架包括架体，架体的顶部中心设置有连接法兰，旋转动力装置的动力端与连接法兰可拆卸连接，上腔体上设置有遮挡部分内圈固定槽和部分外圈固定槽的遮挡装置，该遮挡装置遮挡外圈固定槽的面积大于遮挡内圈固定槽的面积。该旋转载片装置能够方便自转架的整体取出，同时还能提高内圈基片和外圈基片整体的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 旋转 装置 | ||
【主权项】：
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