[发明专利]一种多腔式碳化硅外延设备及其反应室机构有效
| 申请号： | 202111187818.5 | 申请日： | 2021-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN113897674B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 王慧勇;伍三忠;徐俊;吴彩庭;刘欣 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈志超 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及外延生长领域，具体公开了一种多腔式碳化硅外延设备及其反应室机构，其中，反应室机构包括：反应室本体、快拆装置、平移机构和控制器，控制器用于控制所述快拆装置的开合以改变所述反应室本体与所述传输机构的连接状态，还用于在所述快拆装置处于打开状态时，控制所述平移机构运动以使所述反应室本体靠近或远离所述传输机构移动；该反应室机构利用快拆装置连接反应室本体和传输机构，使得控制器能迅速改变反应室本体和传输机构的连接状态，反应室本体底部设置由控制器控制运行的平移机构，使得反应室本体在清洗维护前能迅速完成移动操作，从而有效缩短了整个反应室机构清洗维护的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多腔式 碳化硅 外延 设备 及其 反应 机构 | ||
【主权项】：
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