[发明专利]一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构

摘要

本发明公开了一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，涉及太阳能电池片管式PECVD镀膜设备技术领域，包括炉尾舟本体和炉口舟本体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上设置有陶瓷杆本体，所述陶瓷杆本体设置为两个，两个所述陶瓷杆本体位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阴极导电石墨块。本发明通过阴极导电石墨块和阳极导电石墨块的具体位置设计，使得炉口舟本体采用舟脚电极结构，即电极由炉口引入，直接在炉口两边，配合石墨舟导电更改实现，两个电极在都在炉口位置，无需引入到炉管中，避免了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，降低热延伸量，减少生产时的不稳定因数，便于在发生异常时对其进行维护。