[发明专利]复合压电材料、自聚焦式复合压电薄膜、超声换能器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111196874.5 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN114023874A 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 任丹阳;施钧辉;尹永刚;陈睿黾;李驰野 申请(专利权)人: 之江实验室
主分类号: H01L41/18 分类号: H01L41/18;H01L41/047;H01L41/37;H01L41/08
代理公司: 杭州求是专利事务所有限公司 33200 代理人: 应孔月
地址: 310023 浙江省杭州市余*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种复合压电材料、自聚焦式复合压电薄膜、超声换能器及其制备方法。该材料主要由有机压电相、无机压电相颗粒及掺杂相复合而成,所述的无机压电相颗粒为导电相@无机压电相异质结颗粒,所述掺杂相能与所述有机压电相中的极性原子形成氢键。该薄膜的制备方法包括:将上述的复合压电材料入半球型薄膜模具中,以成型为自聚焦式复合薄膜;将所述聚焦式压电薄膜进行梯度热处理,而后脱模,得到自聚焦式复合压电薄膜。该超声换能器包括上述的自聚焦式复合压电薄膜;第一电极层,分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的内表面;及第二电极层,分布在所述自聚焦式复合压电薄膜的外表面。具有较高压电性能以及较高机电耦合系数。
搜索关键词: 复合 压电 材料 自聚焦 薄膜 超声 换能器 及其 制备 方法
【主权项】:
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