[发明专利]面内滑动式微镜以及激光雷达在审
| 申请号： | 202111202951.3 | 申请日： | 2021-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN113791398A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 彭德利;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张艺 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种面内滑动式微镜以及激光雷达，包括基底、设于基底上的镜面部件、设于基底和镜面部件之间的滑动部件以及用于驱动滑动部件运动的驱动部件，镜面部件包括反射面，反射面具有至少两个反射角度，滑动部件带动镜面部件于基底上滑动并切换反射角度。镜面部件能够在滑动部件的带动下滑动，镜面部件在滑动时可以切换为不同的反射角度，将传统的扭臂带动扫描镜旋转的方式更改为面内滑动式，能够大幅度提高微镜对光束的扫描角度，并实现长时间的稳定扫描，具有较长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 滑动 式微 以及 激光雷达 | ||
【主权项】：
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