[发明专利]一种离轴自动调焦装置及方法在审
| 申请号： | 202111209899.4 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN113900219A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 郑教增;王家辉 | 申请（专利权）人： | 合肥御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/28 | 分类号： | G02B7/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘臣刚 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离轴自动调焦装置及方法，该装置包括：工件台用于承载被加工物料；调焦模块位于被加工物料远离工件台的一侧，调焦模块和工件台在第二方向上具有相对运动，第二方向与第一方向垂直；调焦模块包括至少一个测焦单元、调焦单元和加工单元，至少一个测焦单元和加工单元均安装在调焦单元上，测焦单元用于在调焦模块和工件台相对运动过程中，测量被加工物料的表面面型起伏数据；调焦单元用于根据被测加工物料的表面面型起伏数据、测焦单元和加工单元之间的位置关系，调焦模块和工件台在第二方向上的相对运动速度，同时调整加工单元和测焦单元沿第一方向的高度，使被加工面始终处于加工单元的焦面上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 调焦 装置 方法 | ||
【主权项】：
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