[发明专利]一种顶部抗反射涂层组合物有效
| 申请号： | 202111212997.3 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN113913060B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 马晓明;王健 | 申请（专利权）人： | 苏州润邦半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09D127/12 | 分类号： | C09D127/12;C09D7/63;G03F7/09 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215634 江苏省苏州市张家港保税*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种顶部抗反射涂层组合物，该组合物的原料包括含氟聚合物、碱、表面活性剂及溶剂，且所述含氟聚合物的分子量控制在20‑80W之间，按重量份数计，各原料组分的投加量分别为含氟聚合物1‑10份、碱0‑10份、表面活性剂0.05‑10份、溶剂80‑95份。采用上述原料所制得的顶部抗反射涂层能确保光刻胶图形不会变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 顶部 反射 涂层 组合 | ||
【主权项】：
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- 专利分类
C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D127-00 基于有1个或多个不饱和脂族基的化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是以卤素为终端；基于此种聚合物衍生物的涂料组合物
C09D127-02 .未由化学后处理改性的
C09D127-22 .由化学后处理改性的
C09D127-24 ..卤化的
C09D127-04 ..含氯原子的
C09D127-10 ..含溴或磺原子的
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
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