[发明专利]一种全自动槽式清洗机供液系统在审

专利信息
申请号: 202111217058.8 申请日: 2021-10-19
公开(公告)号: CN113649339A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 华斌;李文轩 申请(专利权)人: 智程半导体设备科技(昆山)有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B3/14;H01L21/67
代理公司: 北京市浩东律师事务所 11499 代理人: 孙莉
地址: 215316 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种全自动槽式清洗机供液系统,包括供液箱,固定于清洗槽座的两侧,所述供液箱的顶部螺栓安装有电机;循环水泵,嵌入式安装于供液箱内部,所述循环水泵的输出端连接有中转管,所述输水管转轴连接于供液箱外靠近清洗槽座的一侧;还包括:活动槽,开设于供液箱内侧的顶部,所述活动槽内通过弹簧连接有活动板,所述活动板的底部固定有调节板;导流槽,开设于供液箱的底部边缘处,所述导流槽一端供液箱的内壁上安装有封控组件;安装环,固定于导流槽的内壁上,所述安装环的外侧设置有过滤筒。该全自动槽式清洗机供液系统,在实现水的循环使用时可以对水进行过滤,同时在对清洗液进行搅拌时,可以实现喷头的多角度喷洒清洗。
搜索关键词: 一种 全自动 清洗 机供液 系统
【主权项】:
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