[发明专利]一种复合面型的X射线压电变形镜在审
| 申请号： | 202111233251.0 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN113972023A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 蒋晖;田纳玺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 杨怡清 |
| 地址： | 201210 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种复合面型的X射线压电变形镜，包括基底和设于所述基底的上方的光学反射膜，所述光学反射膜的上表面划分为两个镜面，所述基底在其上表面、下表面和侧面中的至少一个总共设有至少两类压电陶瓷片，使得两个镜面各自在压电陶瓷片的带动下产生所需的两种不同的面型。本发明的复合面型的X射线压电变形镜将基于压电驱动的主动光学技术和多面型组合的掠入射X射线反射镜系统集成起来，当施加电压平行于每块压电陶瓷片的电极化方向时，压电陶瓷片的横向方向的压电伸缩可以带动随镜长变厚度的光学基底的伸缩来产生沿镜长子午方向所需的局部曲率，以弥补反射镜的面形难以调节的缺陷。最终通过两种面型的组合，实现消像差的聚焦效果，以用于全场成像和聚焦实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 射线 压电 变形 | ||
【主权项】：
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