[发明专利]一种三维楔形铌酸锂薄膜波导装置在审
| 申请号： | 202111233846.6 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN113900180A | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 尹志军;汤济;崔国新;许志城 | 申请（专利权）人： | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体集成光电子器件技术领域，提供一种三维楔形铌酸锂薄膜波导装置。该三维楔形铌酸锂薄膜波导装置，自下而上包括依次层叠设置的衬底层、绝缘层和铌酸锂层，铌酸锂层包括楔形层和平板层，楔形层包括楔形尖端和楔形尾端，楔形尖端用于匹配光纤模场，楔形尾端用于连接器件功能区域。其中，楔形尖端的厚度小于楔形尾端的厚度，楔形尖端的宽度远小于楔形尾端的宽度和平板层的宽度。本申请在实现水平方向波导模场扩展的基础上，进一步实现了垂直方向波导模场的扩展，从而实现与光纤模场的更进一步匹配，获得更高的纤芯耦合效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 楔形 铌酸锂 薄膜 波导 装置 | ||
【主权项】：
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