[发明专利]用于MOCVD上控制流量的泵液装置在审
| 申请号： | 202111234523.9 | 申请日： | 2021-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN114017398A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王延恺;迮建军;古宏伟;蔡渊 | 申请（专利权）人： | 苏州新材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | F04F1/06 | 分类号： | F04F1/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于MOCVD上控制流量的泵液装置，包括液体容器、安装在所述液体容器上的液体管道和气体管道、以及控制中心；气体管道的一端连接气体源，气体管道的另一端连接液体溶液，所述气体管道上安装有用于检测并控制气体流量的质量流量控制器，所述液体管道上安装有用于检测液体流量的液体流量传感器，所述质量流量控制器、所述液体流量传感器均与所述控制中心电连接。该泵液装置通过液体流量来反馈控制气体流量，只要在控制中心上设定液体流量，控制中心即可精确地调节气体流量，进而达到精确控制液体流量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mocvd 控制 流量 装置 | ||
【主权项】：
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