[发明专利]黑磷薄膜反应装置、黑磷薄膜制备方法有效
| 申请号： | 202111238217.2 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113668053B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张凯;陈程;陈捷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B29/02 | 分类号： | C30B29/02;C30B25/16;C30B25/14 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种黑磷薄膜反应装置和黑磷薄膜制备方法，所述装置包括真空密闭的反应腔室，所述反应腔室内设置有缓释体，所述缓释体将反应腔室分隔成用以放置反应物的第一反应腔和用以放置生长基底的第二反应腔，所述缓释体内形成有毛细通道，在受热反应过程中控制第二反应腔内的压强小于第一反应腔内的压强。本发明在反应物和生长基底之间设置一段缓释体填充，适度抑制第一反应腔内的气态源向第二反应腔的传输，借此控制生长端的压强不至于过高，也就是第二反应腔的压强小于第一反应腔的压强，提高时间上源供给的均匀性，有效地抑制衬底上的过多成核点的形成，最终得到高结晶质量的单晶薄膜或合金薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 黑磷 薄膜 反应 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
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