[发明专利]一种全自动引线键合机的BTO智能校正装置及方法有效
| 申请号： | 202111238970.1 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113681146B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 陈文;赵冰 | 申请（专利权）人： | 宁波尚进自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/10 | 分类号： | B23K20/10;B23K20/26;H01L21/607 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 沈建琴 |
| 地址： | 315100 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全自动引线键合机的BTO智能校正装置及方法。全自动引线键合机包括用于承载芯片工件的工作台、设有劈刀的键合头和成像光学系统，BTO智能校正装置包括：基础标记点，设于工作台上，用于被成像光学系统对准识别作为平面坐标系原点；探测器，设于工作台上距离基础标记点理论BTO位置处，用于探测其与劈刀的距离并在劈刀移动至其上方邻近位置时感应产生电信号；差值校正系统，用于预存劈刀被感应时的理论位置坐标，计算由成像光学系统获得的劈刀被感应时的实际位置坐标与理论位置坐标的差值，得到BTO偏差值进行补差校正。本结构简单小巧，不额外增加设备，能实时自动纠正BTO偏差，提高劈刀键合精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 引线 键合机 bto 智能 校正 装置 方法 | ||
【主权项】：
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