[发明专利]一种非接触式电场测量传感器在审
| 申请号： | 202111240918.X | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113960381A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 罗兵;王婷婷;刘国特;叶远浩;梁铭涵;周锦辉;文湧华;宋国梁 | 申请（专利权）人： | 南方电网科学研究院有限责任公司;佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;H01L41/113;H01L41/31 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 高冰 |
| 地址： | 510000 广东省广州市萝岗区科*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式电场测量传感器，包括压敏电阻器、半导体薄膜、玻璃层、压电材料晶体和基底，所述压敏电阻器设置在半导体薄膜上，所述压电材料晶体内嵌于玻璃层中，所述玻璃层设有空气穴，所述基底上设有压电材料晶体和玻璃层。通过使用本发明，可以准确获取电场信息。本发明作为一种非接触式电场测量传感器，可广泛应用于传感器芯片领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 电场 测量 传感器 | ||
【主权项】：
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