[发明专利]一种多元合金靶材及其制备方法有效
申请号: | 202111242398.6 | 申请日: | 2021-10-25 |
公开(公告)号: | CN114000113B | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 张凤戈;张学华;魏铁峰;岳万祥;张欠男;高众 | 申请(专利权)人: | 北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C30/00;B22F3/15;B22F3/10 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 李爱民 |
地址: | 100089 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及粉末冶金材料的技术领域,具体公开了一种多元合金靶材及其制备方法。一种多元合金靶材,由以下原子百分比的元素组成,镍20‑35%、钒20‑25%、钼20‑25%、钨20‑35%。其制备方法:首先将钼粉与镍粉混料制备成MoNi合金粉末,再将MoNi合金粉末与其他粉末进行混料,最后进行HIP烧结和机加工。本申请制备的靶材具有致密度高,可达99%以上、合金化程度高,无气孔和偏析,组织均匀等优点。另外,本申请的制备方法能够使熔点不同的元素进行HIP烧结,并且能保证熔点不同的元素在靶材中所占比例达到要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 多元 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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