[发明专利]一种类单晶硅片生产设备在审
| 申请号： | 202111244119.X | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113967873A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 徐建均;周同义 | 申请（专利权）人： | 南通友拓新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B27/00;B24B37/27;B24B37/34;B24B41/04;B24B47/00;B24B47/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 刘林峰 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种类单晶硅片生产设备，所述类单晶硅片生产设备包括底座，所述底座的一端固定设置有研磨机构，所述底座的另一端固定设置有第二夹持机构，所述底座上固定设置有第一滑轨，第一夹持机构沿第一滑轨左右移动，底座靠近所述第二夹持机构的一侧固定设置有反应池；具有能够满足一个生产流程中多种研磨精度的需求等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 单晶硅 生产 设备 | ||
【主权项】：
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